首頁 » 產品中心 » LED襯底及窗口片設備 » 碳化矽晶體生長爐

碳化矽單晶爐係統TDL85P
編號|_|p44小游戏:SN20150801141615675
類別||_青苹果家园系统:碳化矽晶體生長爐
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途
    主要用於半導體和LED行業|-三大舰队。采用中頻感應加熱方式|雅克蜥,物理氣相傳輸法生長優質光學晶體|_-三大舰队。


    設備組成
    本係統由沉積真空室__|娱乐天地点检安卓版、感應加熱台係統_-四年级自然景观作文、進樣室-神雕之帝王再生、自動送樣係統-||105彩票是哪个公司的、氣路係統_|阳江泡吧、抽氣係統|_集宁打大a、安裝機台|106官网彩票所有苹果版、真空測量及電控係統等部分組成|盈彩平台是真的吗。

     

    技術指標

     

    型號 

    TDL85P 

    爐內真空度

    極限真空

    9.0×10-5Pa

    拉伸機構運動時

    1.0×10-4Pa

    係統漏率

    停泵關機24小時後真空度≤5Pa

    爐體

    沉積室

    筒形立式結構|--镜花水月两样情,尺寸Φ900×1000 mm

    進樣室

    尺寸Ф300×300mm

    自動送樣機構

    慢速檔速率範圍

    0.06~6㎜/h

    檔速率範圍

    ≥50㎜/min

    轉速範圍

    0~30rpm

    有效行程

    500㎜

    額定總功率

    35KW

    循環水用量

    3m3/h

    真空配置

    分子泵---淘宝网耐克鞋、羅茨泵_-尹斗俊 孙娜恩、機械泵--_张子强电影、插板閥

    占地麵積

    2700×1200×3000mm3(含電源)

     


     

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