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碳化矽單晶爐係統TDL85P
編號|_-1分钟开大发快三骗局:SN20150801141615675
類別-|试卷分析模板:碳化矽晶體生長爐
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途
    主要用於半導體和LED行業_|_众彩平台是合法的吗。采用中頻感應加熱方式|-谈爱李白原文,物理氣相傳輸法生長優質光學晶體-_意林少年版在线阅读。


    設備組成
    本係統由沉積真空室-__青苹果论坛、感應加熱台係統|_赢咖登陆网站、進樣室__-各种扣子、自動送樣係統-_意林少年版在线阅读、氣路係統||镣铐典狱官、抽氣係統-|3cp彩票平台APP、安裝機台--北京466耳鼻喉医院、真空測量及電控係統等部分組成|宅男躲艳记。

     

    技術指標

     

    型號 

    TDL85P 

    爐內真空度

    極限真空

    9.0×10-5Pa

    拉伸機構運動時

    1.0×10-4Pa

    係統漏率

    停泵關機24小時後真空度≤5Pa

    爐體

    沉積室

    筒形立式結構-|阿狸桌面图标,尺寸Φ900×1000 mm

    進樣室

    尺寸Ф300×300mm

    自動送樣機構

    慢速檔速率範圍

    0.06~6㎜/h

    檔速率範圍

    ≥50㎜/min

    轉速範圍

    0~30rpm

    有效行程

    500㎜

    額定總功率

    35KW

    循環水用量

    3m3/h

    真空配置

    分子泵-亿彩彩票的规律、羅茨泵--亿博彩票注册、機械泵|||2019管家婆彩图第66期、插板閥

    占地麵積

    2700×1200×3000mm3(含電源)

     


     

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